Sự khác biệt giữa máy làm sạch megabound và máy làm sạch siêu âm là gì?

Máy làm sạch sóng megabound không chỉ bảo tồn những lợi thế của việc làm sạch siêu âm, mà còn khắc phục nhược điểm của nó. Cơ chế làm sạch megabound là do hiệu ứng rung tần số cao (850kHz) và phản ứng hóa học kết hợp với chất tẩy rửa hóa học để làm sạch chip silicon. Trong quá trình làm sạch, đầu dò phát ra sóng âm thanh năng lượng cao với bước sóng 1μm và tần số 0,8 MHZ. Các phân tử dung dịch tăng tốc dưới sự thúc đẩy của sóng âm thanh này và vận tốc tức thời tối đa có thể đạt tới 30cm / s. Do đó, sự hình thành của bong bóng làm sạch siêu âm, và chỉ có thể là sóng chất lỏng tốc độ cao tác động liên tục trên bề mặt của chip, bề mặt của tấm silicon gắn liền với các hạt mịn ô nhiễm buộc phải loại bỏ và vào dung dịch làm sạch.

Nó có thể loại bỏ các hạt nhỏ hơn 0,2μm trên bề mặt của tấm wafer, không thể đóng vai trò của sóng siêu âm. Phương pháp này có thể đóng vai trò của cả phương pháp làm sạch cơ học và làm sạch hóa học. Hiện nay, phương pháp làm sạch megasound đã trở thành một phương pháp hiệu quả để đánh bóng.

Làm sạch máy làm sạch siêu âm theo nguyên tắc làm sạch siêu âm, có thể đạt được hiệu quả làm sạch toàn diện, đặc biệt là đối với các lỗ sâu, lỗ mù, làm sạch rãnh lõm và lồi là thiết bị lý tưởng nhất, không ảnh hưởng đến vật liệu và độ chính xác của bất kỳ vật thể nào. Đồng thời trong hóa sinh, vật lý, hóa học, y học, nghiên cứu khoa học và thí nghiệm đại học có thể được sử dụng để chiết xuất, khử khí, trộn, nghiền tế bào, phân hủy nano.

Máy làm sạch siêu âm bao gồm đầu dò siêu âm, bể làm sạch siêu âm và máy phát siêu âm. Rãnh của máy làm sạch siêu âm được làm bằng thép không gỉ chất lượng cao với độ đàn hồi và chống ăn mòn tốt, và đáy được lắp đặt với bộ dao động đầu dò siêu âm; Máy phát điện siêu âm tạo ra tần số cao và điện áp cao, được truyền đến đầu dò thông qua đường dây kết nối cáp. Đầu dò và tấm rung tạo ra cộng hưởng tần số cao với nhau, do đó dung môi trong bể làm sạch của máy làm sạch siêu âm được làm sạch bằng sóng siêu âm.